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科迈斯科技股份有限公司
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特色红外加热式热脱附质谱仪TDS1200Ⅱ是利用质谱仪在超高真空中,通过程序升温实时观察样品脱附逸出的化合物
项目 | 规格 |
---|---|
真空压力 | 主腔体 <5*10-7 |
样品尺寸 | 15*15*4 mm |
温度范围 | 50-1200℃ |
升温速率 | 1-180℃/min |
侦测器 | QMS |
感度 Ar | 1*1011 Ar/s (S/N=3) |
软件 | TDS measurement, Data Viewer, Quick CSV |
▶热附脱质谱TDS应用硅晶圆逸散气体分析
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