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椭圆偏振光谱仪

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椭圆偏振光谱仪
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产品型号Semilab SE-2000

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厂商性质其他

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更新时间：2023-02-28 08:11:20浏览次数：292次

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科迈斯科技股份有限公司

经营模式：其他

商铺产品：36条

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产品简介

特点规格量测厚度,反射率,吸收率,表面结构量测波长632

详细介绍

  • 特点 规格
    量测 厚度, 反射率, 吸收率, 表面结构
    量测波长 632.8 nm(He-Ne 雷射)
    量测时间 100 ms~2 s
    量测厚度 2 nm~6000 nm
    样品平台 200 mm (自动 Rho/Theta)
    反射角检测 自动 / 手动
    角度 45° – 90° / 12° – 90°
    变化角度 5° / 1°
    重复性 0.01°
    准确度 Psi：0.002°
    Delta：0.002°
    厚度精确度 0.01nm( 80nm Si3N4 on Si)


    • 或

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