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LuphoScan高速光学非球面3D测量系统

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更新时间:2024-08-03 08:43:19浏览次数:272次

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产品简介

LuphoScan高速光学非球面3D测量系统LuphoScan260/420HD测量台开创了光学表面高精密计量的新领域,能够测量物件角度大至90度,测量精度高于50nm(3)

详细介绍

LuphoScan高速光学非球面3D测量系统
LuphoScan 260/420 HD测量台开创了光学表面高精密计量的新领域,能够测量物件角度大至90°度,测量精度高于±50 nm (3σ) 。测量结果有着的重复性且低噪音。
可测量坡度的表面、具有不同间距方向的表面、极小的表面例如手机镜头模具。快速的、值得信赖的非球面表面非接触式三维形状测量。
物件坡度高至90°度,是测量大的、陡峭的和极小的非球面镜头(如手机镜头模具)的理想选择。
Power和PV测定参数的稳定性。

型号 LuphScan120 LuphScan260 LuphScan420
测量直径 Φ120mm Φ260mm Φ420mm
表面形状 球面、非球面、平面、自由曲面
纵向分辨率 0.1nm
精度 50nm 250nm 1μmmiu
特点 LuphoScan基于多波长干涉技术(MWLI)的干涉扫描系统,专为旋转对称的超精密非接触3D形状测量而设计。四个精密工作台保证灵活精密测量
应用范围 各种透镜,超精密旋转体研磨表面工件等

LuphoScan高速光学非球面3D测量系统

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