● 在程序运转时、可进行真空泵连动的自动程序运转。
● 本体内可收纳真空泵，高品质的控制器、独立过升防止器，具
备优良的操作性和安全性。
● 停电时装置内保持真空，配备有真空泵油逆流防止的瞬停模式。
● 由于主阀采用了1英寸的大口径真空电磁阀，没有排气损失。
● 安装有自动/手动切换开关，紧急情况时可进行手动操作。
● 拥有自诊断回路（温度传感异常、加热器断线、自动过升防
止、SSR短路）、过升防止器、防止过电流的漏电保护开关、
按键锁等安全功能。
● 为安全起见，在观测窗上安装有树脂制成的保护面板。
