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特点:• 用于耐刻蚀工艺、电镀、LIGA、MEMS等• 感光波段:Broadband UV、i-line(365nm) g-line(436nm)、 e-beam、X-ray、synchrotron• 涂胶厚度从几微米到上百微米不等• 覆盖能力强,分辨率高,图形边缘结构陡直• 化学放大胶,具有非常高的灵敏度• 可得到undercut结构,用于lift-off工艺• 可替代SU8胶 。
特点:
• 用于耐刻蚀工艺、电镀、LIGA、MEMS等
• 感光波段:Broadband UV、i-line(365nm)
g-line(436nm)、 e-beam、X-ray、synchrotron
• 涂胶厚度从几微米到上百微米不等
• 覆盖能力强,分辨率高,图形边缘结构陡直
• 化学放大胶,具有非常高的灵敏度
• 可得到undercut结构,用于lift-off工艺
• 可替代SU8胶
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