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SKY® CDG160D 电容膜片真空计

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更新时间：2022-11-27 13:03:32浏览次数：226次

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昆山熙日机械设备有限公司

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产品简介

SKY®CDG160D1...1000托/毫巴INFICONSKYCDG160D高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选

详细介绍

SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴

INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 托至 1000 托满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

CDGxxxD tiba34_35.png

益处

拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
两年保修服务，加热概念和真空计保护延长了使用寿命
的信号稳定性和可重复性，即使是Z苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规性与标准： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

新闻

配备 EtherCAT 数字接口现在可用！

规格

类型		1000 ... 500 Torr / mbar	200 ... 1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.4	0.4
温度效应
零点	percent FS/°C	0.005	0.005
满量程	% of reading / °C	0.02	0.02
压力，Z大	kPa (absolute)	400	260
分辨率	percent FS	0.003	0.003
Z低读数	percent FS	0.01	0.01
建议的Z低读数	percent FS	0.05	0.05
建议的Z低控制压力	percent FS	0.5	0.5
温度
运行（室内环境）(4)	°C	+10 … +50
在法兰处烘烤	°C	≤200	≤200
贮存	°C	–40 … +65	–40 … +65
电源电压		+21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)	+21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)
功耗
加热时	W	≤18	≤18
运行温度	W	≤12	≤12
输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10
反应时间 (2)	ms	30	30
保护等级		IP 40	IP 40
标准
CE 合规		EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规		SEMI S2	SEMI S2
电气连接		D-Sub, 15-pin, male	D-Sub, 15-pin, male
设定点
设定点数量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
继电器触点		≤30	≤30
滞后	percent FS	1	1
诊断端口
协议		RS232-C	RS232-C
读数		pressure, status, ID	pressure, status, ID
设置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))	Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
内部容积
内部容积 1/2'' 管	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR®	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管	g	837	837
重量 DN 16 ISO KF	g	852	852
重量 DN 16 CF-R	g	875	875
重量 8 VCR®	g	897	897

EtherCAT
协议 EtherCAT		protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
通讯标准		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"	ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
节点地址		Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
物理层		100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
数字功能设置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
过程数据		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE)		SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆		shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)

DeviceNet™
协议		DeviceNet™, group 2 slave only	DeviceNet™, group 2 slave only
数据率	kBaud	125, 250, 500 by switch or network programmable	125, 250, 500 by switch or network programmable
电缆长度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)	500 (1650)
电缆长度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)	250 (825)
电缆长度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)	100 (330)
MAC ID		address 00 - 63 by switch or network programmable	address 00 - 63 by switch or network programmable
数字功能读取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
数字功能设置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
技术规格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)	DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
设备类型		''VG'' vacuum gauge	''VG'' vacuum gauge
I / O 从属传讯		polling only	polling only
真空计 D 型连接器的电源电压		+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W	+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
为微型连接器上的 DeviceNet 收发器提供电压		24 V nom / <2 W (11 … 25 V)	24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
DeviceNet™ 连接器		microstyle, 5 pin, male	microstyle, 5 pin, male
CDG（模拟输出、CDG 电源电压、设定点）连接器		D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male

Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		address 00 - 125 by switch or network programmable	address 00 - 125 by switch or network programmable
数字功能读取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
数字功能设置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 连接器		D-sub, 9 pin, female	D-sub, 9 pin, female
CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male