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PALOMAR高真空炉3150

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PALOMAR高真空炉3150
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更新时间：2023-08-01 09:30:52浏览次数：222次

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PALOMAR高真空炉3150

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产品介绍

3150高真空炉封装采用非常低的真空和湿度水平密封，以延长长期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高达 500°C（可选 1000°C）的温度。洁净室兼容系统还可配置为允许盖子和封装的原位分离、吸气剂烧制和MEMS封装的密封。使用涡轮分子阻力泵来有效泵送氢气分子。对于需要很低水平残留水蒸气的工艺，可以将可选的低温水泵添加到系统中。

性能特点

  • 高真空能力
  • 可选的低温水泵
  • 涡轮分子泵
  • 压力为12 psig
  • 自动线性运动阶段
  • 电阻石墨热系统
  • 专有运行分析仪软件
  • 自动温度和压力控制
  • 分布式逻辑控制系统
  • 原位热量激活
  • 所有配置文件运行的实时绘图
  • 温度高达1000°C（可选）

技术参数

  • 工作温度范围：室温至500°C（1000°C选项）
  • 热工作区：25“2（160 cm2）
  • min真空水平：<1 x 10-7托尔（1.3 x 10-7mbar）
  • max室内气PSI：15 psig（1.8 bar）
  • 室深度：12英寸（305毫米）
  • 工作表面高度：37英寸（95厘米）可调
  • 需要压缩空气：90 psig（7 bar）
  • 冷却方法：可编程氮气清洗
  • 加热方法：可移动的电阻石墨夹具
  • 工艺气体（三个输入）：需要N2，（AR，HE，形成气体可选） @ 90psig（7 bar）min压力
  • 尺寸（w x d x h）：94“ x 43” x 54“（238 x 109 x 137 cm）
  • 体重：1800磅（816公斤）
  • 电气（电压）：208-240伏，60安培，50/60 Hz，1阶段，7.3千瓦平均值，13.2千瓦峰
  • 真空泵类型：涡轮分子阻力（可选的低温水泵）
  • 冷却水：2 GPM（8 lpm） @ 20-25°C，2千瓦的容量min

规格参数

关键词：分析仪 控制系统
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