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浙江嘉恒精密计量有限公司
VMZ-R3020影像测量仪应用领域:适用于中等尺寸零部件和对载物台上的多个工件执行序列测量 Type1~3 :中型尺寸PCB、冲压钣金件等 Type4/TZ :300mm晶圆、300mm探针卡等 TypeA :中型尺寸机械零件、塑料模制件
技术参数:
型号 | VMZ-R3020 |
XYZ行程 | 300X200X200 |
最小读取单位 | 0.1微米 |
被测物重量 | 20kg |
测量精度 EUX、MPE EUY、MPE | 1.2+4L/1000um |
EUXY、MPE | 2+4L/1000um |
Z轴测量精度(激光自动对焦) | 1.2+5L/1000um |
摄像头 | 黑白1/3英寸CCD、彩色1/3英寸CCD(选购件)※ |
物镜镜头的工作距离 |
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类型1、2和3 | 37度斜角时为50mm、55度斜角时为36mm、78度斜角时为10mm |
类型4 | 30mm |
类型TZ | 使用主物镜镜头时为11mm,使用左侧物镜镜头时为32mm |
类型A | 未使用激光AF时为73.5mm,使用激光AF时为63mm |
倍率和视场 |
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类型1 | 0.5~7.5X /9.33X7~0.622X0.467mm |
类型2 | 1~15X /4.67X3.5~0.311X0.233mm |
类型3 | 2~30X /2.33X1.75~0.155X0.117mm |
类型4 | 4~60X /1.165X0.875~0.07~0.068 |
类型1、2和3-标准倍率变焦头
Type10.5X~7.5X Type21X~15X Type32X~30X
类型1、2和3使用15X变焦光学系统,具有长工作距离,宽视场(FOV)以及主达0.35的数值孔径。所有标准变焦头都配备LED落射、透射和内部/外部环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光以及具有三种不同斜角照明光,确保清晰呈现模糊的边缘。
类型4和TZ-高倍率变焦头
Type4 4X~60X TypeTZ1X~X7.5/16X~120X
类型4和TZ使用15X和120X变焦光学系统,具有更高的倍率精度和更高的数值孔么(0.46)。类型4配有LED落射、透射和环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光和50度斜角照明光。TZ配有适用于主物镜镜头(16~120x)的落射、透射和暗场照明器,以及适用于辅助物镜镜头(1~7.5X)的LED落射和暗场照明器。
类型A-宽视场变焦头
TypeA0.35X~3.5X
类型使用10X变焦光学系统,具有低部率精度范围内zui宽的视场,zui长的工作距离和zui高的数值孔么(0.11),而且它配备了LED落射、透射和环形照明器,提供顶部和斜角照明光。
VMZ-R3020影像测量仪8段LED内外环形照明器
Type1~3
类型1、2和3配有8段LED内外环形照明器,能够提供照明条件,清晰呈现模糊的边缘。您可以从8个照明器段的任意方向选反37度、55度、和75度这三个斜角之一,还可以组合使用任意照明器段以及使用任意光强度。
改善不确定度
全新线性编码器ModuRay配有非接触式读取头,有助于提高确定度。
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