我们的XUV/VUV光谱仪具有像差校正的平场波长覆盖范围从1nm到200nm。宽带光谱测量可以通过覆盖1-20nm、5-80nm和40-200nm的三个光栅实现。光谱仪可以在没有入口狭缝的情况下使用，以限度地收集光源距离范围内的光。它的模块化设计能够匹配不同的实验几何形状和配置。它具有一个集成的狭缝夹和过滤器插入单元，以及一个电动光栅定位。
特点：
- 平场入射光栅光谱
- 单光栅波长范围覆盖5-80nm
- 也可以选择1-5nm光谱
- 三种不同的几何结构
- 不同的探测器选择：X-ray CCD相机或MCP锥形光纤
- 工作气压<10-6mbar,也可以提供无油气泵的独立真空系统
| Wavelength [nm] | 1-10 | 3-20 | 5-40 | 10-60 | 25-80 | 40-200 |
| Operation mode | slit-less | slit-less | slit-less | slit-less | slit-less | slit-less |
| Source distance [m] | flexible | flexible | flexible | flexible | flexible | flexible |
| Flat-field size [mm] | 35 | 45 | 21 | 50 | 50 | 100 |
| Dispersion [nm/mm] | 0.2 – 0.35 | 0.3 – 0.4 | 0.5 – 0.65 | 0.7 – 1.1 | 0.9 – 1.3 | ≈ 2.0 |
| Resolution [nm] | < 0.03 | < 0.035 | < 0.06 | < 0.09 | < 0.11 | < 0.15 |
* Other configurations (spectral range, slit operation, high-resolution, etc) available upon request.
定制：
每一个光谱仪都是定制的，符合所需的应用，例如。
- 与实验室的接口
- 源距自适应
- 集成客户提供的探测器
- 用户定义的过滤器安装
下面的图像可以证明XUV光谱仪的测量能量。它展现的是滤波后的单发飞秒激光脉冲的高次谐波谱。上面的图显示了x-ray CCD探测到的原始影像，而下面的图显示的是柱条叠加后的谐波图谱。这个过程都由XUV光谱仪自动完成。
