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爱义信工业科技（上海）有限责任公司
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爱义信 洁净氮气柜适合半导体前端单晶硅制作过程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象； 由于普通的干燥存储柜或者氮气柜设计都为全封闭环境，且无自净功能，故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。洁净柜则适合存放需要避免灰尘污染的物品
产品应用：
适合半导体前端单晶硅制作过程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象； 由于普通的干燥存储柜或者氮气柜设计都为全封闭环境，且无自净功能，故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。洁净柜则适合存放需要避免灰尘污染的物品
爱义信 洁净氮气柜产品特性：
★4英寸超高亮数码管显示，可视距离30米，可加装氮气节约控制系统，可加装报警系统。
★无尘风机——采用进口无尘室专用FFU风机，镀铝锌板材质，铝合金叶轮，风速0.3-0.45m/s，噪音<=55dB。
★双面护网高效过滤器——过滤效率高99.99%@0.3um。
★模组化设计，温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换， 保养及维修简便，大大提升维护效率。
爱义信 洁净氮气柜技术参数：
材质：双镜面304不锈钢
外尺寸： 1300W*1836H*800Dmm
内尺寸： 1253W*1110H*650Dmm
除湿等级： 相对湿度可达到5%Rh以下 （配合充氮气）
洁净等级： ISO Class 2（百级） ISO Class 3（千级）
湿度显示范围： 0.1%RH-99.9%RH
湿度显示范围： -40℃-70.0℃（-9.9℃以下显示不带小数点）
温湿度显示器精度： 相对湿度±3%Rh，温度±1℃
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