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Pfeiffer 普发 ADPC 302 无菌室监控系统、环境

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产品型号pfeiffer普发

品牌

厂商性质其他

所在地苏州市

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更新时间：2023-07-26 11:19:44浏览次数：99次

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苏州震拓自动化设备有限公司

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所在地区：江苏苏州市

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产品简介

类型：无菌室监控系统品牌：pfeiffer普发型号：ADPC 302描述：普发污染管理解决方案

详细介绍

Pfeiffer 普发 ADPC 302 无菌室监控系统、环境

普发 ADPC 302 无菌室监控系统、环境.jpg

产品规格：

应用:
用于无菌室, 环境

产品介绍：

ADPC 302 是一款在半导体领域的用于粒子污染监测的过程内污染管理系统。

高效粒子监测
亚微米粒子会造成可能导致相当大产量损失的缺陷。即使是测量值为 0.1 μm 的最小粒子，也可能会损坏半导体芯片的结构。创新的 ADPC 302 可测量晶片传送载体内的粒子数量（前开式晶圆传送盒 FOUP，前开式装运箱 FOSB）。全自动的工艺从载体表面(包括门)对粒子进行定位和计数。

得益于的晶圆，该系统可用于成批生产和研发分析。主要应用是载体特征化、清洗策略优化和清洗质量检查。

与传统湿法相比较（液体颗粒计数器），ADPC 的干式工艺（干式粒子计数器）显示出了明显的优势。干式工艺的主要优势在于粒子测量是自动的。它是在生产过程中集成的，因此不再需要生产周期之外的时间。有了全自动测量，该过程无需额外的操作员。测试时间只需７分钟，意味着 ADPC 302 的速度是传统系统的４倍。可在１个小时内测试 8 个运输箱。

关键词：监控系统颗粒计数器粒子计数器

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