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日立高分辨冷场发射扫描电镜Regulus8100

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更新时间：2023-05-31 09:47:08浏览次数：503次

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产品简介

产品说明： Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的*新系列，Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点，进一步提高性能，1kV减速模式下*高分辨率达到了0.8nm，15kV达到0.7nm，高低电压均可...

详细介绍

Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜系列，Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点，进一步提高性能，1kV减速模式下*高分辨率达到了0.8nm，15kV达到0.7nm，高低电压均可满足高分辨的观察。

产品特点
1.沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
2.采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的*佳性能；
3.(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)；
4.采用污染小、高真空样品仓；
5.运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

应用领域
2、半导体器件；
4、生物医学；
技术参数

项目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次电子分辨率			0.7 nm(加速电压15 kV)0.8 nm(着陆电压1 kV）*3	0.6 nm（加速电压 15 kV） 0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3
着陆电压			0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率			20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
样品台	样品台控制		3轴马达台（可选5轴马达台）	5轴马达驱动
	移动范围	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	再现性		-	-	-	±0.5 µm以下含±0.5 µm