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杭州太昊科技有限公司
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INFICON AugentTM光学等离子体测量仪是一种紧凑的智能真空监测解决方案。AugentTM将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中,用于1 x 10-7 至 5 mbar 的气体类型监测,并同时测量 1 x 10-7mbar 到大气压的总压力。A...
INFICON AugentTM光学等离子体测量仪是一种紧凑的智能真空监测解决方案。AugentTM 将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中,用于 1 x 10-7 至 5 mbar 的气体类型监测,并同时测量 1 x 10-7mbar 到大气压的总压力。AugentTM由集成的皮拉尼传感器保护,可关闭 20 mbar 以上的等离子体。快速光学测量原理原则上可以检测任何类型的气体。
好处
1,高速泄漏检测允许腔室泄漏测试
2, 提高生产率和产量
3,使用寿命长,无灯丝**,气涌保护
4,承受工艺化学反应
5,智能算法,易于集成
6,设计紧凑,占地面积小
7,可靠且快速的启动
典型应用
1,腔室泄漏检查,更快的RoR(上升速率)测试
2,泄漏检查以查找供气管线的内部泄漏
3,实时终点控制
4,气体类型和浓度控制
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