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武汉市夏睿琪科技有限公司
四轴精密度线轨运动台,满足高速、高加速、高精度的产品定制需求,适用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等*制造行业。
产品介绍
四轴精密度线轨运动台,满足高速、高加速、高精度的产品定制需求,适用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等*制造行业。
产品特性
X、Y、Z、工作台,直驱电机驱动可实现360°角度旋转,Z轴布置于平台大理石横梁,直线电机驱动垂向运动;配套平衡气缸支撑,防止断电掉落:
亚微米级重复定位精度;o
速度1000mm/s,加速度1g;
单轴直线度可达士1.5um,运动平面度可达2.um;
X、Y两轴正交性可达2.0um;
直线电机驱动,光栅尺编码反馈
高精度直线导轨:高刚性基台配合进口高刚性直线导轨,可保证产品长期稳定的精度,同时专业的技术团队和检测设备可将直线导轨的性能发挥到极点。
本机构具备较高的定位精度,台体的物理形位公差做到了理想化范围,确保运动时的精确性。
模块化线缆管理:模块化的线缆管理大大提高系统的维护性和可靠性,方便用户管理线缆。
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