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深圳纳恩科技有限公司
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产品型号:NE-Q05 性能特点:石英玻璃腔体 产品用途:去除表面污染物和氧化物,增强表面活性,改善A膜的附着力
等离子发生器 | 功率 | 0-200W |
频率 | 13.56MHz | |
特性阻抗 | 自动匹配 | |
真空反应腔室 | 腔体材质 | 石英玻璃 |
腔体容积 | 5L | |
腔体尺寸 | 直径150mm×270mm | |
真空度 | 1-30Pa | |
气路控制 | 气体通道 | 两路 |
气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器 | |
整机参数 | 重量 | 65KG |
外形尺寸 | 650mmx550x600mm |
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