PLC 工控机 嵌入式系统 人机界面 工业以太网 现场总线 变频器 机器视觉 DCS PAC/PLMC SCADA 工业软件 ICS信息安全 无线通讯 机箱机柜
郑州科探仪器设备有限公司
郑州科探仪器设备有限公司
实验室小型磁控溅射仪是一种利用溅射技术制备薄膜的设备，主要用于制备和研究金属、合金、氧化物、硅等材料的薄膜。
它通常由四个主要组件组成：真空室、溅射枪、靶材和控制系统。真空室是封闭的金属或玻璃盒子，用于维持真空环境，以避免杂质和气体干扰制备过程。溅射枪是用于向靶材表面发射离子的设备，它可以控制溅射速率和角度，从而控制薄膜的厚度和均匀性。靶材是被准备薄膜所需的原材料。
郑州科探仪器设备是高质量定制物理 气相沉积（PVD）系统的设计者和制造商，客户服务和售后服务出色。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下，高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。
郑科探的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心，并得到了很好的参考和反馈。
仪器描述：
实验室小型磁控溅射仪，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。
产品特点：
• 彩色触摸屏：数据输入简单快速
• 通过触摸屏中直观检测数据和曲线；历史页面可显示历史涂层信息。
• 可控镀膜速率，可得到更精细的晶粒结构
• 可手动或自动，根据时间或根据厚度进行溅射
• 样品台更换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转；行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。
实验室小型磁控溅射仪技术参数；
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
溅射电源 | 直流溅射电源 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A |
真空 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
溅射真空 | ≤30Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
样品台 | 可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品溅射源调节距离 | 40-105mm |
真空测量 | 皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
您感兴趣的产品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
智能制造网 设计制作，未经允许翻录必究 .
请输入账号
请输入密码
请输验证码
