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自仪一厂 CFBM扩散硅压力传感器
| 参数 | 单位 | 技术指标 |
| 灵敏度 | mV/V | 100±10mV |
| 非线性 | ≤ %F·S | ±0.1 |
| 滞后 | ≤ %F·S | ±0.1 |
| 重复性 | ≤ %F·S | ±0.1 |
| 蠕变 | ≤ %F·S / 30min | ±0.1 |
| 零点输出 | ≤ %F·S | ±5 |
| 零点温度系数 | ≤ %F·S / 10℃ | ±0.025 |
| 灵敏度温度系数 | ≤ %F·S / 10℃ | ±0.025 |
| 工作温度范围 | ℃ | -20℃ ~ +80 ℃ |
| 输入电阻 | Ω | 400±10Ω |
| 输出电阻 | Ω | 352±2Ω |
| 安全过载 | %F·S | 150%F·S |
| 绝缘电阻 | MΩ | ≥5000 MΩ（50 VDC） |
| *激励电压 | V | 10V ~ 15V |
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