AWM40000系列气体质量流量传感器包括不带放大和放大信号处理的信号。AWM42150V 和AWM42300，使用和AWM2000气体质量流量传感器相同的电路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000气体质量流量传感器相同的电路。AWM43600V气体质量流量传感器为6SLPM 器件。
图1 WM43300V气体质量流量传感器发热控制电路
AWM40000系列气体质量流量传感器选型指南:
| | AWM42150VH | AWM42300V | AWM43300V | AWM43600V | | |
| 流量范围（满量程） | ±25sccm | ±1000sccm | +1000sccm | +6LPM | | |
| 输出电压@ 标定点 | 8.5±1.5mV @25sccm | 54.7±3.7mVDC @1000sccm | 5±0.15VDC @1000sccm | 5±0.15VDC @6LPM | | |
| 零点电压 | 0.0±1.0 mV DC | 0.0±1.0 mV DC | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.05VDC | | |
| 零点漂移+25~-25?C +25~85?C | ±0.20mV DC | ±0.20mV DC | ±0.025VDC | ±0.025VDC | | |
| 输出电压漂移+25~-25?C +25~+85?C | +2.5% 读数（典型值） -2.5% 读数（典型值） | ±2.5% 读数（zui大值） +6% 读数（zui大值） | -5% 读数（zui大值） +6%读数（zui大值） | -5% 读数（zui大值） +6% 读数（zui大值） | | |
| 重复性& 迟滞 | ±0.35% 读数 | ±1.00% 读数 | ±0.5% 读数 | ±1.00% 读数 | | |
| 压降@ 满量程（in H2O） | | 1.50（典型值） | 1.02（典型值） | 8.00（典型值） | | |
| | Min Typ. Max. | | ||||
| 电源（VDC） | 8.0 10±0.01 15 （2） | | ||||
| 功耗（mW） | 50 60 | | ||||
| 反应时间（ms） | 1.0 3.0 （1） | | ||||
| 共模压力（psi） | 150 | | ||||
| 输出负载 | NPN（电流沉）:10mA PNP（电流源）：20mA | | ||||
| 标定气体 | 氮气（AWM42150VH 为氢气） | | ||||
| 比率变化量 | ±0.3% 读数 | | ||||
| 工作温度 | -25~85C | | ||||
| 储存温度（?C） | -40~90C | | ||||
| 冲击 | 100g峰值（5drops,6axis） | | ||||
注：1、从10%~90% 反应时间一般1 毫秒
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、重复性和迟滞反应了测量设备的内在精度
4、zui大的防止损坏的流量变化量：5LPM/1.0sec
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、重复性和迟滞反应了测量设备的内在精度
4、zui大的防止损坏的流量变化量：5LPM/1.0sec
WM43300V气体质量流量传感器安装尺寸（仅供参考）:
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