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等离子去光阻机

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产品型号GDR-60G

品牌

厂商性质经销商

所在地烟台市

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更新时间：2023-06-16 13:56:26浏览次数：142次

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招远普斯玛等离子技术有限公司

经营模式：经销商

商铺产品：5条

所在地区：山东烟台市

联系人：张经理（销售经理）

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产品简介

采用电感耦合高密度等离子体（ICP），能快速去除晶圆上之残留光阻，达到晶圆表面洁净，具有蚀刻率高，无电极污染，离子能量低，不损伤基板等优点。

详细介绍

◆ 设备外形尺寸（不包括报警灯）

650（W）×900（D）×1600（H）mm

◆ 合金铝真空仓体（约100升）

450（W）×450（D）×450（H）mm

◆ 电极结构

外置电感耦合电极

◆ 等离子发生器（美国MKS）

频率13.56MHZ,功率0-1000W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

◆ 控制系统

PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

◆ 真空系统（真空压力PID闭环自动控制）

日本爱发科（ULVAC）机械真空泵 VDN901 （23L/S）

中国台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器

◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计（四路气体配制）

美国世伟洛克SWAGELOK气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件

关键词：报警灯等离子发生器控制系统触摸屏 PID

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