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招远普斯玛等离子技术有限公司


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太阳能电池等离子刻蚀机

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太阳能电池等离子刻蚀机
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产品型号ICP-500T

品       牌

厂商性质经销商

所  在  地烟台市

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更新时间：2023-06-16 15:14:11浏览次数：176次

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招远普斯玛等离子技术有限公司

经营模式：经销商

商铺产品：5条

所在地区：山东烟台市

联系人：张经理 （销售经理）

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产品简介

用于太阳能电池硅片边缘刻蚀制程，采用*的高密度等离子（ICP），刻蚀速率高，全进口配置组装。

详细介绍

◆ 外形尺寸（不包括报警灯）  

1350（W）×800（D）×1750（H）mm

 ◆ 仓体结构（铝，约125升）

500（W）×500（D）×500（H）mm

 ◆ 旋转平台

Φ 400mm ，转速可调节

  ◆ 等离子发生器（美国）

频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统（真空压力PID闭环自动控制）

前级泵/ 英国爱德华爪式干泵 GV80

二级泵/ 英国爱德华罗茨泵  EH250（70L/S）  

美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器     

中国台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 

◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计（四路气体配制）

美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件

关键词：报警灯 等离子发生器 控制系统 PID 质量流量计

或

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商铺：https://www.gkzhan.com/st291331/

主营产品：等离子清洗机，等离子刻蚀机，等离子喷枪，等离子处理机，等离子发生器等


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