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杭州大华仪器制造有限公司
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真空实验仪是一个真空实验平台
真空实验仪是一个真空实验平台。由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成，能够很直观反映真空获得的全过程。
国家实用新型：ZL 2007 2 0107661.X
主要实验内容
1、真空的获得与测量；
2、蒸发法薄膜制备。
主要技术参数
1、设备的真空室、油扩散泵、真空管路部件全透明；
2、电气控制有安全防护，防止误操作对人员和设备造成损伤；
3、采用不锈钢、真空橡胶管结合管路，阀门为电控双向截止阀；
4、真空室：304 不锈钢底盘和玻璃钟罩组成，尺寸：Φ230×260mm；
5、真空测量：数显复合真空计；
6、衬底温度：室温～ 200℃（PID 控温）；
7、抽气系统：2XZ-4B 机械泵 + 四级玻璃扩散泵，需水冷；
8、极限真空：9.6×10 -4 Pa；恢复真空：5×10 -3 Pa ＜ 40 分钟；
9、1 组无氧铜电极，蒸发功率：AC10V/150A；衬底加热、烘烤除气；
10、可镀膜尺寸：Φ70mm；
11、整机功率：3kW；16A 插座；
12、工作电源：AC220V±5，50Hz；
13、用户需自备或另购冷却水系统。
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