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Agilent CDG-500 系列温度补偿电容薄膜真空计全量程真空计

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更新时间：2024-03-24 20:42:28浏览次数：70次

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产品简介

主动式真空计CDG-500电容薄膜真空计AgilentCDG-500系列温度补偿电容薄膜真空计可在高压区域内提供的准确度

详细介绍

主动式真空计

CDG-500 电容薄膜真空计

Agilent CDG-500 系列温度补偿电容薄膜真空计可在高压区域内提供的准确度。可提供从 1000 Torr 至 1 Torr (1.3–1333 mbar) 的全量程测量。

CDG-500 系列采用耐腐蚀的超纯氧化铝陶瓷隔膜，可提供超常的信号稳定性，并具有从大气环境中快速恢复、预热时间短和坚固性的特点。

广泛应用于薄膜和真空工艺、工业真空、数据存储和半导体制造等应用。

特性

全量程为 1–1000 Torr (1.3–1333 mbar)，按钮调零，可选设定点控制易于集成
优异的长期信号稳定性和重现性
从大气压下恢复迅速，启动后迅速达到稳定状态，缩短了过程循环时间
采用耐腐蚀陶瓷传感器和屏蔽保护，确保了坚固耐用
的准确度（读数的 0.2%）

性能指标

准确度	0.2%
响应时间	30 ms
操作环境温度	+5 to +50 °C
烘烤温度	110 °C
模拟输出	0-10 VDC
电气连接	D-Sub，15 芯，公头
贮存环境温度	–40 至 +65 °C