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上海德竹芯源科技有限公司
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高低温探针台应用领域:半导体/微电子、材料、光电、纳米、航空航天等科学研究领域。
● 高低温探针台在高温及低温电学性能测量
● 真空腔
● 设计合理
● 真空度稳定
● 温控精度及机械精度高等
● 样品台:镀金样品台
● 样品台尺寸:2英寸/4英寸/6英寸
● 单筒显微镜:放大倍数 50 倍
● 视频成像配置: CCD成像系统,放大倍数 300 倍
● 探针臂:x/y/z 行程 40mm,精度 1μm
● 探针配置:DC/射频探针
● 真空系统:机械泵或分子泵
● 真空度:10-3 Torr - 10-6 Torr
● 观察窗口:100mm
● 温度范围:液氮制冷 77K - 570K,液氦制冷 10K - 570K,温度可到 1000K
● 温控精度:0.1K / 0.01K / 0.001K
● 制冷方式:液氮、液氦或制冷机系统
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