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上海德竹芯源科技有限公司
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半自动匀胶机 SM-200 可处理没有或表面结构非常低的衬底。SM系列，拥有高水平的均匀性和重复性。所有商业光阻剂都可被均匀涂布。针对多种多样的应用设计的专用卡盘，有助于提高在基材选择方面的高度灵活性和可使用性。
产品功能
● 闭合工艺室由 PETP 材质做成（碗和防溅环）
● RCCT 系统（旋转闭合腔体技术 Round-Closed-Chamber-Technology）
● 高动态、直接驱动交流伺服电机
● 旋转速度 6000 rpm +/-1 rpm（可选 10000）
● 可编程电驱动分配手臂，可静态或动态滴胶
● 衬底通过真空固定和安全互锁保护
● 一个滴胶臂，可放置 4 路液体管路
● 液体由玻璃瓶和精密计量泵来供应，包括低液体传感报警
● PP材质的废液桶，带有高液位传感器
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