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江苏宇烁鑫新能源科技有限公司
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爱德华iXH4545H真空泵，成色较新，主要用于光伏半导体行业。
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明、可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPOVD 制程)提供了高性能。
Edwards爱德华iXH4545H真空泵
Edwards爱德华真空泵主要型号有:IXH4545,IXH645,IXL500Q这几种型号是EDWARDS新型产品。
Edwards爱德华iXH4545H真空泵半导体干式真空泵概述
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明、可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPOVD 制程)提供了高性能。
Edwards爱德华iXH4545H真空泵半导体干式真空泵应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
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