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超高精度CNC三坐标测量机 LEGEX系列0.28µm

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更新时间：2024-02-26 14:11:57浏览次数：137次

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产品简介

三坐标测量仪

详细介绍

初项0.28µm的高精度CNC三坐标测量机LEGEX系列

●LEGEX系列为初项0.28µm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并排除或地降低其影响。

●本体底座部分严选材料，采用密封结构以实现高刚性、高衰减性。采用FEM结构解析模拟进行的应力分析，保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降至最小。此外，还引入了各种技术来实现超高精度，如驱动单元的结构和振动对策等。

●用于位置检测的长度测量单元配备了超高精度测量单元(自社开发)，该单元采用热膨胀系数为≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射线性编码器的组合，具有的位置检测能力，可实现超高精度的机器控制功能。

●提供丰富的选件，包括触发式和非触发式测头，数据处理部等支持各种工件轻松实现高精度测量。

规格

型号项目		LEGEX 574	LEGEX 774	LEGEX 776	LEGEX 9106	LEGEX 12128*
测量范围	X轴	500mm	700mm	700mm	900mm	1200mm
	Y轴	700mm	700mm	700mm	1000mm	1200mm
	Z轴	450mm	450mm	600mm	600mm	800mm

LEGEX系列主机精度

使用测头

允许长度测量误差

ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013)

MPP310Q

E0,MPE=0.28+L/1000*

关键词：编码器

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