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上海舜建仪器有限公司
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采用了三重扫描方式，运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的细微粗糙度，以及镜面体，透明体等。基恩士VK-X3000系列形状测量激光显微系统拥有应对多种样品的测量能力（从 1 nm 到 50 mm），纳米/微米/毫米一台完成测量。
采用了三重扫描方式，运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的细微粗糙度，以及镜面体，透明体等。基恩士VK-X3000系列形状测量激光显微系统拥有应对多种样品的测量能力（从1nm到50mm），纳米/微米/毫米一台完成测量。
观察
从光学显微镜到SEM领域一台设备涵盖
· 42 至 28800 倍
· 无需对焦
· 适用于多种样品
测量
非接触瞬间扫描形状
· 不会损伤目标物
· 纳米级别也可准确测量
· 透明体和坡度大的目标物也可测量
分析
希望了解的表面“差异"一目了然
· 定量化微小形状
· 轻松比较多个样品
· 粗糙度分析
三重扫描方式
解决“难以测量"的难题
可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。
分辨率0.01 nm
和大范围区域也能测量
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