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郑州科探仪器设备有限公司
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等离子刻蚀机清洗机用于表面清洗,活化,刻蚀电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。，与动辄十几万美元的大型产品相比小型等离子清洗机具有成本低廉、操作灵活的特点。
一、应用领域：
等离子刻蚀机清洗机用于表面清洗,活化,刻蚀等离子清洗机电源属于150W13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
二、等离子清洗的方式：
（1）常规的清洗方法不能*将材料表面薄膜去除，而会留下一层很薄的杂质层，而且溶剂清洗就是这类典型例子。
（2）等离子清洗器使用就是通过等离子体对材料表面的轰击，轻柔地和*地对表面擦洗。
（3）等离子清洗将除去不可见的油膜、微小的锈迹和其它由于用户接触室外暴露等等在表面形成的这类污物，而且，等离子清洗不会在表面留下残余物。
（4）等离子清洗器能够处理多种类型材料：包括塑料、金属、陶瓷以及几何形状各异的表面。
（5）等离子清洗器的优点在于它不但能清洗掉表面的污物，而且还能增强材料表面的粘附性能。
三、聚合物清洗原理介绍：
①聚合物的表面清洗
·等离子消融作用通过高能的电子和离子对材料表面的轰击，机械地去除污物层。
·等离子表面清洗可去除可能存在于某些加工过的聚合物的污物层，不需要的聚合物表面涂层和弱的边界层。
②聚合物的表面重组
·等离子消融作用中使用的惰性气体破坏了聚合物表面的化学键从而导致聚合物表面自由官能团的形成。
·聚合物表面的自由官能团重新成键形成原始的聚合物结构，也能与在相同的聚合物链上邻近的自由官能团成键，或与在不同的聚合物链上附近的自由官能团成链。
·聚合物表面结构重组能够改进表面的硬度和化学抗性。
③聚合物的表面改性
·等离子消融作用破坏了聚合物表面的化学键，从而导致聚合物表面自由官能团的形成。
·基于等离子过程气体的化学性质，这些表面自由官能团与等离子中原子或化学基的连接形成了新的聚合物功能组，代替旧的表面聚合物功能组。
·聚合物表面改性能够改变材料表面的化学性质，而材料整体性质不会改变。
④聚合物的表面镀膜
·等离子镀膜是通过过程气体的聚合作用在材料基层表面形成一层薄的等离子涂层。
·如果被使用的生产气体由复合分子组成，如：甲烷、四氟化物、碳，那么他们在等离子态将破裂，形成自由的官能单体，这些官能单体将在聚合物表面成键和重新化合在聚合物表面镀膜。
·这种聚合物表面涂层能明显地改变表面的渗透性和磨擦性。
四、等离子刻蚀机清洗机郑州科探仪器KT-S2DQX参数：
供电电源 | AC220V（AC110V可选) |
工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
射频电源功率 | 150W |
射频频率 | 13.56MHz |
频率偏移量 | ＜0.2MHz |
特性阻抗 | 50欧姆，手动匹配 |
耦合方式 | 电容耦合 |
真空度 | ≤100Pa |
腔体材质 | 高纯石英 |
腔体容积 | 2L(内径110MMX深度220MM) |
观察窗内径 | Φ65 |
气体流量 | 10—100ml/min（其他量程可选） |
过程控制 | 过程手动控制 |
清洗时间 | 手动开关 |
开盖方式 | 铰链侧开式法兰 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室温度 | 小于65°C |
冷却方式 | 强制风冷 |
标配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。 |
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