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赛福仪器承德有限公司
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CIF推出全新一代CPC-G系列小型等离子体清洗设备，传统等离子体清洗设备设计理念，采用顶置真空仓，上开盖下压式铰链开关方式，上置式360度自由取放样品托盘设计，具有较大的腔体尺寸和样品处理面积，使用成本低，性价比高，处理快速高效，特别适合于大学，科研院所和光电企业实验室使用。
产品特点：
PLC工控机控制整个清洗过程，全自动进行。
7寸彩色触摸屏互动操作界面，实时工作参数状态直观显示。
手动、自动两种工作模式。
数字流量计控制，控制更准确。
符合人体功能学的60度倾角操作界面设计，操作方便，界面友好。
顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式。
上置式360度自由水平取放样品托盘设计，符合人体功能学，操作更方便。
安全保护，仓门打开，自动关闭电源。
技术参数
型号 | CPC-G | CPC- G plus |
舱体尺寸 | H120xΦ270mm | H120xΦ270mm |
舱体容积 | 6.8L | 6.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 |
气体控制 | 质量流量计（MFC）（标配单路，可选双路） | |
有效处理尺寸 | Φ270mm 圆盘 | |
产品尺寸 | L525xW425xH345mm | |
包装尺寸 | L645xW540xH560mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电 源 | AC220V 50-60Hz | |
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