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美能光伏科技(江苏)有限公司
表面微观特征是材料、化学、精密制造等领域的主要研究内容,准确地评价表面微观形貌、表面特征等,对于相关材料的评定、性能的分析和加工工艺的改善都具有重要意义。在半导体、光伏、LED、MEMS器件、材料等领域,表面台阶高度、膜厚的准确测量具有十分重要的价值,尤其是台阶高度是一个重要的参数,对各种薄膜台阶参数的精确、快速测定和控制,是保证材料质量、提高生产效率的重要手段。
出色的重复性和再现性
(1)单拱龙门式设计,结构稳定性优异,大大降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。;
(2)线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um 量程下可达0.01 埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。;
超微力恒力传感器:1-50mg可调
的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。
超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。
全自动XY载物台,Z轴自动升降、360°全自动θ转台
精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台,可以对样品的位置以及角度进行调节,三维位置均可以调节,利于样品调整,提高测量效率。
项目 | 内容 |
---|---|
技术测量 | 探针式表面轮廓测量技术 |
样品观测 | 光学导航摄像头:500万像素高分辨率彩色摄像机,FoV,1700*1400μm |
探针传感器 | 超低惯量,LVDC传感器 |
测量力 | 0.5-50mg可调 |
探针选型 | 探针曲率半径2μm,夹角60° |
Z轴测量重复性 | <0.5% 在环境温度20 ±2 °C下用50X物镜测量4.7um标准台阶样块 |
平台移动范围X/Y | 电动X/Y(100mm*100mm)(可手动校平) |
样品R-θ载物台 | 电动,360°连续旋转 |
单次扫描长度 | 55mm |
样品厚度 | 50mm |
载物台晶圆尺寸 | 150mm(6时),200mm(8时) |
台阶高度重复性 | <1nm(测量1μm台阶高度,1δ) |
传感器量程 | 330μm |
垂直分辨力 | 分辨力<0.25 Å(量程为13um时) |
扫描速度 | 2μm/s-10mm/s |
仪器电源 | 100-240 VAC,50/60 Hz |
使用环境 | 相对湿度:湿度(无凝结)30-40% RH 温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃) 地面振动:6.35μm/s(1-100Hz) 音频噪音:≤80dB 空气层流:≤0.508 m/s(向下流动) |
尺寸和重量 | 长×宽×高: 640*626*534(mm) 仪器总重量:<> |
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