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LSLM-500步进式光刻机

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更新时间：2024-05-15 12:32:32浏览次数：1713次

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河南海恒实业有限公司

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产品简介

LSLM-500步进式光刻机 LSLM-500步进式光刻机是一种用于制造集成电路（IC）的装置，其在微小的硅片表面上可以形成数百万个微观电路元件，是复杂工艺的重要组成部分。

详细介绍

用途：步进式光刻可将掩模版图案缩小比例转移到待曝光的基板表面。
主要规格：可将掩模版图案同比例缩小5倍进行曝光；线宽：达500nm；可以配合使用多种型号的正光阻和负光阻；
适用晶片尺寸：样品尺寸不能大于6英寸。
可溅镀的材料：金属类Al、Cu、Gr、Co、Fe、Ni、Pt、Ag、Ti、Ta；合金类NiFe、CoFe、CoFeB、NiMn、FeMn、TbFeCo；氧化物类MgO等。
尺寸：170 cm*130 cm*180 cm