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郑州科探仪器设备有限公司


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小型溅射仪

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参  考  价:39600
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号

    KT--Z1650PVD

  • 品牌

    郑科探

  • 厂商性质

    生产商

  • 所在地

    郑州市

规格

39600元 99台可售

联系方式:张正敏查看联系方式

更新时间:2024-07-11 15:33:03浏览次数:28次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:25条

所在地区:河南郑州市

联系人:张正敏 (销售)

产品简介

小型溅射仪:KT—Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压,电流反馈,样品台旋转,样品高度可调节及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。

详细介绍

小型溅射仪离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

*外形小巧方便移动

*触摸屏控制,工艺记忆储存方便镀相同样品

*自动化电动挡板,能自动打开关闭,保证镀样时间和保护样品

*石英+不锈钢腔体,方便观察和清洗

小型溅射仪厂家供应技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V 电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62 (可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa

预留真空接口

KF25抽气口   KF16放气口 6mm卡套进气口

 



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