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深圳市恒歌科技有限公司
恒歌DF系列扩散器专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003um。全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,对工艺室环境造成影响,有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计,灵活适应各类安装空间。
产品介绍
恒歌DF系列扩散器专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003um。全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,对工艺室环境造成影响,有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计,灵适
应各类安装空间。深圳市恒歌科技有限公司致力于高难度烧结过滤器的研发生产是集多孔烧结过滤器、半导体气体过滤器的研发、制造、销售和OEM/ODM服务为一体的技术企业
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