真空传感仪器库号：M382433真空传感仪器库号：M382433

增强型皮拉尼真空传感器

宽量程：0.01Pa～133kPa，抗冲击和振动

美国Instrutech CVG101系列对流增强型皮拉尼真空传感器，可以配合真空控制器VGC301，B-Rax 3000系列或FlRax 4000系列使用。相对于其他真空计拥有多增强设计，温度补偿功能放置真空规管的外面，消除不必要的部件和焊接,了性,提供的真空测量,同时降低成本。改进后受机械冲击和振动的影响较小。在入口有一个精细的网筛，有助于防止颗粒物的进入。该表也可以有效防止射频干扰。比热电偶真空计量程范围宽广，度高。

应用及案例

● 大学/研究所 ● 半导体

● 数据存储 ● 薄膜沉积

● 平板显示 ● extClass' contentuneditable='false' tabind='-1'>分析仪器

● 工艺真空 ● 冶金工业

● 真空泵系统

产品特

● 增强型皮拉尼规

● 宽泛的测量范围：0.01Pa～133kPa

● 一个真空计就可以监控您的真空抽气和排气系统

● 可替代Graville-Phillips系列真空传感器使用

● 稳健设计承受多冲击和振动

● 低价位，为您节约成本

● 安装和操作容易

指标

测量范围 1×10 -4 ～1000 Torr

1.3×10 -4 ～1333 mbar

1.3×10 -2 Pa～133 kPa

（N2,典型） 10 -4 ～10 -3 Torr；0.1 mTorrextClass' contentuneditable='false' tabind='-1'>分辨率

10 -3 ～400 Torr；±10%读数

400～1000 Torr；±2.5%读数

重 复 性 ±2%读数

工作温度 0～50℃

烘烤温度 150℃（于表，电子元件移除）

工作湿度 0～95％RH，非冷凝

安装方向 水平（1 Torr以下安装方式无影响）

接液材质 镀金钨，304 和316 不锈钢，玻璃，镍，特氟龙

内部容积 26 cm 3 （1.589 in 3）

内部表面面积 59.7 cm 2（9.25 in 2）

泄 漏 率 ＜1×10 -9 atm cc/sec He

重 量 85 g（3 oz）

RF/EMI CE

环境 RoH