溅射蒸碳仪器库号：M402923溅射蒸碳仪器库号：M402923

规格 参数

主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H）

副机 300mm×360mm×140mm（W×D×H）

真空规 皮拉尼真空计

溅射靶 二极直流溅射靶 （配）磁控靶（选配）

靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H）

靶材 Au(纯度99.99%）

蒸发材料 碳纤维绳

样品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃

溅射面积 Φ50mm

蒸碳面积 140mm

高真空度 ≤4×10-2mbar

溅射大电流 50mA （磁控靶100mA）

热蒸发大电流 100A

溅射定时器时间 0-360s

热蒸发时间 0-1s

微型真空气阀 可连接φ3mm软管

可通入气体 多种

溅射高电压 -1600DCV

热蒸发高电压 28V

电源 220V AC,50Hz接地三脚插头

机械泵 2L/

重量 40Kg

规格 参数

主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H）

副机 300mm×360mm×140mm（W×D×H）

真空规 皮拉尼真空计

溅射靶 二极直流溅射靶 （配）磁控靶（选配）

靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H）

靶材 Au(纯度99.99%）

蒸发材料 碳纤维绳

样品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃

溅射面积 Φ50mm

蒸碳面积 140mm

高真空度 ≤4×10-2mbar

溅射大电流 50mA （磁控靶100mA）

热蒸发大电流 100A

溅射定时器时间 0-360s

热蒸发时间 0-1s

微型真空气阀 可连接φ3mm软管

可通入气体 多种

溅射高电压 -1600DCV

热蒸发高电压 28V

电源 220V AC,50Hz接地三脚插头

机械泵 2L/

重量 40Kg