戴经理
磁控溅射仪型号:LH12-SC-SU-I库号:M264255
参数指标
石英仓尺寸150X120MM
样品台尺寸70mm
溅射面积50mm
高真空度5pa
可通气体氩气,氮气等惰性气体
高溅射速度8nm/min
整机功率200W
机器尺寸360(W)X310(D)X150mm(H)
磁控溅射仪型号:LH12-SC-SU-I库号:M264255
参数指标
石英仓尺寸150X120MM
样品台尺寸70mm
溅射面积50mm
高真空度5pa
可通气体氩气,氮气等惰性气体
高溅射速度8nm/min
整机功率200W
机器尺寸360(W)X310(D)X150mm(H)
磁控溅射仪型号:LH12-SC-SU-I库号:M264255
参数指标
石英仓尺寸150X120MM
样品台尺寸70mm
溅射面积50mm
高真空度5pa
可通气体氩气,氮气等惰性气体
高溅射速度8nm/min
整机功率200W
机器尺寸360(W)X310(D)X150mm(H)