质量流量控制器/流量计/热式质量流量计型号:CS200A库号：M400064

CS200A质量流量控制器&流量计

CS200A气体质量流量控制器，采用传感器和温度补偿技术，因此产品可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面加岀。全量程范围内，CS200C产品快可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统小化，所需流量加。

•采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。

•CS200产品严格按照SEMI标准制造，尺寸符合通用的SEMI标准。

•CS200系列产品支持±8V~±16V双电源,+14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。

•产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。

•具有多气体多量程功能、自动归零功能、功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

CS200A，甲烷，2SLM，8mm卡套，RS485通讯，大工作压力0.45MPa,压差0.05-0.35MPa

技术参数

类型：CS200-A

阀类型：常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)或常闭

流量规格(N2)：(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

(0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

准确度：±1.0%S.P.(≥35%F.S.)

±0.35%F.S.(＜35%F.S.)

线性：±0.5%F.S.

重复：±0.2%F.S.

响应时间：≤1sec

工作压差范围：

0.05～0.35MPa流量规格≤10SLM

0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM

0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM，＜0.02 MPa

大工作压力：0.45MPa

温度系数：零点：≤±0.05%F.S./℃；

调节时：≤±0.1%F.S./℃流量规格≤30SLM

调节时：≤±0.2%F.S./℃流量规格＞30SLM

耐压强度：3MPa

漏率：1×10-10 Pa·m3/sec He

密封材料：氟橡胶

工作环境温度：（5～45）℃

输入信号：数字：RS485或DeviceNet或ProfiBus

模拟：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA

输出信号：数字：:RS485或DeviceNet或ProfiBus

模拟：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA

零漂：在没有零点校正时＜0.6%F.S./年

电源：±8～±16 VDC(双极)或+14～+28 VDC(单极)

表面化学成分：常态

表面粗糙度：25 Ra

标准接头形式：

双卡套φ6；双卡套1/4´´；双卡套3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3；

双卡套1/8´´；VCO 1/4";φ6(内)x1软管接头;φ5(内)x1.5软管接头；

φ4(内)x1软管接头;双卡套φ10mm；A型密封接头;

电源接头形式：D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头；ProfiBus接头；模拟接头

重量：1 Kg