离子溅射仪型号:KD02-JS-1600库号：M389279  
离子溅射仪采用二极（DC）直流溅射原理设计，适用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备,非导体材料实验电极的制作。  
主要规格和技术指标：  
1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm纯度：99.999%  
2、真空室：直径：160mm，高：110mm  
3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm  
4．工作真空：8×10-2—2×10-1mbar  
5.离子电流表：电流：50mA  
6.数显计丨时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。  
7.溅射电压：-1600DVC  
8.真空泵（VTD-4）:1.1升/每秒  
9.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体  
10．针阀：配有进气口，微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管  
11.外型尺寸：360mm×300mm×380mm

离子溅射仪型号:KD02-JS-1600库号：M389279  
离子溅射仪采用二极（DC）直流溅射原理设计，适用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备,非导体材料实验电极的制作。  
主要规格和技术指标：  
1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm纯度：99.999%  
2、真空室：直径：160mm，高：110mm  
3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm  
4．工作真空：8×10-2—2×10-1mbar  
5.离子电流表：电流：50mA  
6.数显计丨时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。  
7.溅射电压：-1600DVC  
8.真空泵（VTD-4）:1.1升/每秒  
9.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体  
10．针阀：配有进气口，微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管  
11.外型尺寸：360mm×300mm×380mm