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LW400T大平台有限远芯片检查显微镜

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更新时间:2021-04-01 14:13:18浏览次数:210次

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LW400T大平台有限远芯片检查显微镜

LW400T大平台有限远芯片检查金相显微镜

LW400T广泛的应用于透明,半透明或不透明物质的观测。本仪器配有大移动范围的载物台,落射照明器、平场金相物镜,大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,是专门为检测晶圆而设计制造的。

标准配置

目镜

大视野 WF10X(Φ18mm)

物镜

长距平场消色差物镜(无盖玻片) PL 5X/0.12

长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L10X/0.25

长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L20X/0.40

长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L40X/0.60

长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L80X/0.80

目镜筒

三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)

落射照明系统

6V 20W卤素灯,亮度可调

落射照明器带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(黄,蓝,绿)滤色片和磨砂玻璃

调焦机构

载物台升降,粗微动同轴调焦, 微动格值0.7μm, 粗动松紧可调,带锁紧和限位装置

转换器

五孔 (外向式滚珠位)

载物台

三层机械移动式尺寸: 280mmX270mm,移动范围: 204mmX204mm


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