臭氧能够对冷库的果品、鸡蛋、鱼、肉类食品的贮存起到了防霉保鲜的作用。日本、法国和澳大利亚等国家早已经在食品工业中广泛应用臭氧发生器了。在发达国家的一些实验和研究结果表明，使用臭氧发生器应用与食品加工业符合GRAS标准——这个结果成为发达国家食品加工业广泛使用臭氧的基础。随后美国食品与医药管理局承认臭氧应用于食品生产过程符合通用安全标准（GRAS）的要求。之后，专家们还对臭氧化水在食品工业上的应用、气相臭氧在食品加工中的应用、臭氧处理食品的营养影响及处理食品的安全性和毒性等作了相关的研究，这些研究均表明：臭氧作为食品杀菌剂和消毒剂使用是安全无害的，在适宜的用量和良好的加工条件下使用符合GRAS要求。这表明臭氧发生器可以广泛应用于食品加工业。中国在近些年，很多食品行业中也应用臭氧消毒杀菌。
臭氧在空气中的半衰期与环境温度有很大关系，温度较高，臭氧分解快，半衰期短。W·J·马舍兰认为“室温下臭氧在气相的半衰期为4~12h不等”，实验表明，在26~27℃时、半衰期约为10h，在24.5~25℃时，约为14~16h，在19.5~20.0℃时，扣除因臭氧分析器连续采样使得空气进入箱中，引起臭氧浓度降低，半衰期约为14~20h。温度越低，臭氧的半衰期越长，在50℃以上，臭氧瞬间还原，不适宜用臭氧发生器。
