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具体型号 | VML/-T250 | VML/-T300 | VML/-T400 |
(X/Y/Z轴)量测行程(mm) | 250*150*200 | 300*200*200 | 400*300*200 |
全机尺寸(mm) | 1000*650*1650 | ||
机台底座和立柱材料 | 高精度花岗石 | ||
光源材质 | LED冷光源 | ||
X,Y轴量测精度 | (3+L/200)um | ||
放大倍率 | 光学放大率:0.7--4.5X,影像放大率:28--180X | ||
光学尺解析度 | 1 um | ||
重复性 | 2 um | ||
操作方式 | 手动 | ||
CCD | 3D Family-L,41万像素,彩色 | ||
机台承重 | 30Kg |
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