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在半导体制造过程中，腐蚀装置、喷镀装置，离子注入装置和CVD装置等许多部分，都要把芯片和液晶基板放在真空室内处理，该真空
室供气、排气（真空）用阀，要求它们无泄漏、耐腐蚀且是洁净规格。
产品简介
详细介绍
SMC高真空阀,SMC电磁阀，日本SMC
两种常见连接形式：
活套法兰连接
这是阀门中用得多的连接形式。按结合面形状又可分为以下几种：
1）光滑式：用于压力不高的阀门。加工比较方便。
2）凹凸式：工作压力较高，可使用中硬垫圈。
3）榫槽式：可用塑性变形较大的垫圈，在腐蚀性介质中使用较广泛，密封效果较好。
4）梯形槽式：用椭圆形金属环作垫圈，使用于工作压力≥64公斤/平方厘米的阀门，或高温阀门。
5）透镜式：垫圈是透镜形状，用金属制作。用于工作压力≥100公斤/平方厘米的高压阀门，或高温阀门。
6）O形圈式：这是一种较新的法兰连接形式，它是随着各种橡胶O形圈的出现，而发展起来的，它在密封效果上比一般平垫圈可靠。
产品样本：
螺纹连接
这是一种简便的连接方法，常用于小阀门。又分两种情况：
1）直接密封：内外螺纹直接起密封作用。为了确保连接处不漏，往往用铅油、线麻和聚四氟乙烯生料带填充；其中聚四氟乙烯生料带，使用日见广泛；这种材料耐腐蚀很好，密封效果，使用和保存方便，拆卸时，可以完整地将其取下，因为它是一层无粘性的薄膜，比铅油、线麻得多。
2）间接密封：螺纹旋紧的力量，传递给两平面间的垫圈，让垫圈起密封作用。
小型&大容量
设置容积减少42%、设置面积减少26%
VQ4000可驱动缸径为Φ160的气缸
VQ5000可驱动缸径为Φ180的气缸
●省电 消耗电力：0.4W(低功率型)
●寿命长：1亿次(根据本公司条件)
SMC高真空阀,SMC电磁阀，日本SMC
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