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北京海富达科技有限公司
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产品简介
主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）
靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）
靶材：Au（标配）
样品室：玻璃腔体160mm×120mm（D×H）
靶材尺寸：Ф50mm
高真空度：≤ 4X10-2 mbar
产品介绍
磁控溅射仪
磁控溅射仪
主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）
靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）
靶材：Au（标配）
样品室：玻璃腔体160mm×120mm（D×H）
靶材尺寸：Ф50mm
高真空度：≤ 4X10-2 mbar
大电流：100mA
定时器：数码计时 0-999S
镀膜面积：50mm
微型真空气阀：可连接φ3mm软管
可通入气体：多种
高电压：-1600 DCV
机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）
冷却方式：冷水机（可根据实验具体要求自备）
速率：0--60nm/min
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