表面处理机（海富达）仪表

表面处理机（海富达）仪表

一、试样处理室

（1）钟罩：内径250mm×高度340mm

（2）玻璃处理室：

玻璃罩 A:内径88mm×高度140mm

玻璃罩 B:内径88mm×高度57mm

（3）试样台：直径40mm（）

（4）试样旋转：电动

（5）挡板：电动

（6）蒸发加热器：可同时安装两个加热器

二、真空系统

（1）抽气系统：由分子泵、机械泵组成的高真空机组

（2）真空检测：金属电阻规、冷规

（3）常用真空度：1.3×10-2~ 6×10- 3 Pa

（4）操作：手动

三、处理电源：

（1）高压电源：DC 2000V 10mA连续可变，用表指示。

（2）低压电源：AC 10V 60A连续可变，电流用表指示。

四、体积重量：

（1）体积：L800mm×W560mm×H1340mm

（2）重量：约150公斤

五、电源要求：AC 220V 50Hz 10A

六、气体要求：氩气--纯度99.9%(对样品有特殊要求时可使用)

七、冷却要求：

本系统采用F100/110F普通轴承风冷涡轮分子泵，其冷却方式为风扇强制风冷、通水冷却两种，当工作环境温度低于摄氏32度时，可采用风冷冷却，当工作环境温度高于摄氏32度时，则采用水冷。目前本系统标配为风扇风冷形式。

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