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CS200A气体质量流量控制器,采用传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面加岀色。量程范围内,CS200C产品快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差小化,所需流量加。
质量流量控制器(海富达)仪表
质量流量控制器(海富达)仪表
阀类型:常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)或常闭
流量规格(N2):(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
准确度:±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)
线性:±0.5% F.S.
重复精度:±0.2% F.S.
响应时间:≤ 1sec
工作压差范围:
0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM
0.2~0.45MPa 30<流量规格≤50SLM,<0.02 MPa
工作压力:0.45MPa
温度系数:零点: ≤±0.05% F.S./℃;
调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM
调节时: ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格>30SLM
耐压强度:3MPa
漏率:1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料:氟橡胶
工作环境温度:(5~45)℃
输入信号:数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA
输出信号:数字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA
零漂:在没有零点校正时<0.6%F.S./年
电源:±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)
表面化学成分:常态
表面粗糙度:25 Ra
标准接头形式:
双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3;
双卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头;
φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;A 型密封接头;
电源接头形式:D 型 9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头
重量:1 Kg
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