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北京海富达科技有限公司
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- 个性化：
- www.aigesen.com
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产品简介
流量规格
300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
2
准确度
士1 % F.S. (20,30SLM: +2
% F.S.)
+0.5 % F.S. (20,30SLM:
3
线性
+2 % F.S.J
产品介绍
气体流量控制器（氮气） 仪表
气体流量控制器（氮气） 仪表
流量规格
300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
2
准确度
士1 % F.S. (20,30SLM: +2
% F.S.)
+0.5 % F.S. (20,30SLM:
3
线性
+2 % F.S.J
4
复精度
+0.2 % F.S.
5
响应时间
s2 sec
≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa
6
工作压差
(14.5~72.5 psid)
范围
> 10SLM: 0.1~ 0.3 MPa
(14.5~43.5 psid)
7
工作
1 MPa
8
耐压
3 MPa (435.1 psig)
9
工作环境
5°C~45°C
温度
0V~+5.00V.
10
气体流量控制器（氮气） 气体流量控制器（氮气） 气体流量控制器（氮气）
气体流量控制器（氮气） 气体流量控制器（氮气） 气体流量控制器（氮气）
气体流量控制器（氮气） 气体流量控制器（氮气） 气体流量控制器（氮气）
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