四探针方阻电阻率测试仪 库存：M265954            四探针方阻电阻率测试仪 库存：M265954 

适用范围：

适用于企业、高等院校、科研部门，是检验和分析半导体材料质量的工具；液晶显示，自动测量和系数补偿，并带有温度补偿功能，自动转换量程；采用芯片控制，恒流输出，选配：PC软件，保存和打印数据，生成报表

参数

1.方块电阻范围 10^-5～2×10^5Ω/□

2.电阻率范围 10^-6～2×10^6Ω-cm

测试电流范围 0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA

4.电流精度 ±0.1%

5.电阻精度 ≤0.3%

6.显示读数 液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率

7.测试方式 普通单电测量

8.工作电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W

9.误差 ≤4%（标准样片结果）

10.选购功能 选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台；5.标准电阻.

11.测试探头 探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针

12.标准电阻（选购） 规格：1mΩ、10mΩ、100mΩ、1Ω、10Ω、1kΩ、10kΩ、100kΩ、1MΩ

参照标准：

硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及国标设计制造；GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.