高耐电压真空的耐电压高，易于实现小型化；
低损失 可以适用于高RF频率；
大电流通电 无整流子结构形式，适合大电流；
高信赖性 具有自我恢复性，可以承受瞬间过电压；
规格
形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M
高峰试验电压 [kVp] 15 5 5
静电容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400
RF动作电压 [kVp] 9 3 3
直线可变性 (pF/N) 42±4
(65pF 以上) 88±6
(80pF 以上) 115±8
(150pF 以上)
转速(回) 12±1 12±1 12±1
zui大容许电流 [Arms]
(at 13.56MHz) 100 100 100
回转转矩(N/cm)
(kgf/cm) 24.5
2.5 24.5
2.5 24.5
2.5
重量(kg)
尺寸(長度×直径) (mm)
 1.3
140×φ73 1.35
140×φ73 1.4
140×φ73

MEIDENSHA真空电容器 MEIVAC
MEIVAC真空电容器系列，是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。
真空电容器有以下用途
1 作为半导体薄膜制造设备的阻抗整合器
2 通信器材的发报线路，同调回路
3 诱电加热设备的共振回路
4 各种高频率电源的电压增幅回路
近年来，由于半导体产业的发展，真空电容器的用途扩大至CVD，蚀刻，滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻抗
整合应用领域。
MEIDENSHA真空可变电容器
真空可变电容器是通过移动真空容器内的电极而实现静电容量的变化的电容器。
除了了装置115MM标准的型号，还搭载了耐高压特殊电极的黄金型号，同时通过风箱构造以及增强材质的大电
流低扭矩型(H系列)。

标准型特点
1 寿命长
  采用高强度的不锈钢风箱，实现可变范围二分之一以下的风箱寿命达100万循环。同时通过高强度特殊螺钉
构造，在可变范围二分之一的情况下实现总回转数1000万以上的长寿命。
2微型化
  陶瓷中心栓与外围共振器一体化从而是微型化得以实现。
  统一设为全长140MM(装置标准115MM)，容易实现机器安装时的可更换性。
强电流低扭矩型特点
    强电流通电
    风扇采用铜合金新材料，可以实现强电流通电。(强电流规格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
    低扭矩
    H系列内部构造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驱动马达的微型化得以实现。
    长寿命
    采用高强度不锈钢风箱，通过可变范围二分之一以下的风箱寿命100万回转，以及高强