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日本Ulvac爱发科|干式真空泵| ER系列节能的干泵

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更新时间：2016-05-13 04:13:01浏览次数：1568次

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产品简介
特点

消耗功率：高达58％，比以前的ULVAC公司模型低
消耗减少：可以操作与OSLM N 2吹扫
（清洁撤离应用）。
杰出的耐腐蚀性
应用

没有一代的升华物质的化学气相沉积和蚀刻
溅射和装载/卸载商会
涡轮分子泵和其他辅助疏散泵

详情介绍

 

ER系列节能的干泵

ER系列是加入到ULVAC的PDR - C系列，SIN - LPCVD流行，金属蚀刻和其他苛刻的进程产生升华物质。
ER系列过程中的应用等作为溅射，灰化，蚀刻需要耐腐蚀的。
ER系列是zui节能的保存在行业机型，采用直流无刷电机和优化每一个疏散阶段的能力。
 

 

特点

消耗功率：高达58％，比以前的ULVAC公司模型低
消耗减少：可以操作与OSLM N 2吹扫
（清洁撤离应用）。
杰出的耐腐蚀性
应用

没有一代的升华物质的化学气相沉积和蚀刻
溅射和装载/卸载商会
涡轮分子泵和其他辅助疏散泵
 

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