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电容位移传感器,MTI电容传感器
线性度高达满量程的 0.01%,具有亚纳米级别的分辨率。
accumeasure D系列的放大器是一种全新的革命性的设计,采用的技术来将一个高度可靠的电容式电场测量(位移)直接进入一个高度精确的24位数字阅读。这种方法消除了采用模拟滤波,线性化的误差,范围扩展和总结渠道获得的厚度或台阶测量。放大器的频率响应,且平均所有的数字控制。
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